Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700| Title: | Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 |
| Authors: | Грудинин, Владислав Алексеевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Блейхер, Галина Алексеевна |
| Keywords: | Твердые тела — Распыление; Плазменная металлизация; диссертации; высокоскоростное осаждение; твердые покрытия; соединения; хром; азот; плазма; магнетронные распылительные системы; нитриды металлов; оксиды металлов; мишени; математические модели; магнетроны; элементный состав; кристаллические структуры; функциональные свойства; микротвердость; упругость; коррозионная стойкость |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Грудинин, В. А. Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / В. А. Грудинин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2022. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| dis00531.pdf | 11,06 MB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
