Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410| Title: | Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления |
| Authors: | Рунц, А. А. Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Keywords: | осаждение; тонкопленочные покрытия; люминесцентные покрытия; магнетронное распыление; люминофоры; технологические параметры; отжиг; свойства |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Рунц, А. А. Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления / А. А. Рунц, В. А. Грудинин // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 22-25 ноября 2022 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2022. — [С. 180-182]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C45_p180-182.pdf | 110,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
