Влияние ионного ассистирования на свойства металлических покрытий

Abstract

Цель работы – изучение влияния ионного ассистирования высокочастотной индуктивно-связанной плазмой на структурные и функциональные свойства хромовых покрытий, нанесенных с помощью магнетронного распыления. В результате работы показано, что ассистирование высокочастотной индуктивно-связанной плазмой способствует улучшению твёрдости, износостойкости и коррозионной стойкости хромового покрытия на подложке из стали 12х18н10т при магнетронном распылении.

The aim of the work is to study the effect of ion assisted high–frequency inductively coupled plasma on the structural and functional properties of chromium coatings applied by magnetron sputtering. As a result of the work, it is shown that the assistance of high-frequency inductively coupled plasma improves the hardness, wear resistance and corrosion resistance of the chrome coating on a 12x18h10t steel substrate during magnetron sputtering.