Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76328
Название: Формирование импульсно-периодических пучков ионов титана низкой и средней энергии для высокоинтенсивной имплантации ионов
Авторы: Бунин, Алексей Иванович
Научный руководитель: Рябчиков, Александр Ильич
Ключевые слова: высокоинтенсивная ионная имплантация; пучки ионов; плотность ионного тока; амплитуда ионного тока; прибор CALOTEST; high-intensity ion implantation; ion beams; ion current density; ion current amplitude; CALOTEST device
Дата публикации: 2023
Библиографическое описание: Бунин А. И. Формирование импульсно-периодических пучков ионов титана низкой и средней энергии для высокоинтенсивной имплантации ионов : магистерская диссертация / А. И. Бунин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2023.
Аннотация: Формирование высокоинтенсивных пучков ионов титана низкой и средней энергии, определение параметров формирования пучков титана; исследование закономерностей модификации стали 12Х18Н10Т высокоинтенсивной имплантацией ионов азота в условиях компенсации ионного распыления; разработка методики анализа ионно-легированного слоя стали 12Х18Н10Т ионами азота при помощи CALOTEST
Formation of high-intensity beams of low- and medium-energy titanium ions, determination of the parameters of the formation of titanium beams; study of the regularities of modification of steel 12С18N10T by high-intensity implantation of nitrogen ions under conditions of ion sputtering compensation; development of a methodology for the analysis of the ion-doped layer of steel 12С18N10T nitrogen ions using CALOTEST
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76328
Располагается в коллекциях:Магистерские диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU1467280.pdf2,56 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.