Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971| Title: | Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 |
| Authors: | Прокопьев, Айсен Русланович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Неустроев, Ефим Петрович |
| Keywords: | Углеродные пленки, тонкие — Получение; авторефераты диссертаций; углеродные пленки; тонкие пленки; синтез; плазменное осаждение; отжиг; атомы углерода; плазма метана; аморфные гидрогенизированные пленки; термообработка; инертные газы; твердотельные подложки; морфология поверхности; электрические свойства; оптические свойства; атомно-силовая микроскопия; сканирующая электронная микроскопия; рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия; спектроскопия комбинационного рассеяния света; ультрафиолетовая спектроскопия; инфракрасная спектроскопия |
| Issue Date: | 2023 |
| Citation: | Прокопьев, А. Р. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / А. Р. Прокопьев ; Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова ; науч. рук. Е. П. Неустроев. — Томск, 2023. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2023-35.pdf | 764,01 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
