Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560| Title: | Исследование процесса напыления DLC покрытий с помощью импульсно-дугового испарителя |
| Authors: | Гавриленко, А. В. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Keywords: | DLC покрытия; импульсно-дуговой испаритель; ионный источник; углеродная мишень; электрические характеристики |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Гавриленко, А. В. Исследование процесса напыления DLC покрытий с помощью импульсно-дугового испарителя / А. В. Гавриленко ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2024. — Т. 1 : Физика. — С. 112-114. |
| Abstract: | The article discusses the process of applying a DLC coating using a pulsed arc evaporator, as well as the effect of the electrical characteristics of the pulsed arc on the properties of the resulting DLC coatings. It is shown that, with an increase in the storage voltage, the current strength increases. However, the pulse frequency has little effect on the current strength and shape of the graph. After a series of depositions of DLC coatings under different operating conditions, it was found that a coating obtained at 200V storage voltage and 2Hz pulse frequency had greater hardness and flexibility, respectively: 68.8 ± 8.1GPa and 511 ± 66GPa |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2024-C21_V1_p112-114.pdf | 644,91 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
