Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785| Title: | Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме |
| Authors: | Воронина, Екатерина Дмитриевна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | полупроводники; p-n диоды; фотокатализаторы; стехиометрия; скорость осаждения покрытий; аргон; кислород |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Воронина, Е. Д. Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме / Е. Д. Воронина ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 111-113. |
| Abstract: | CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p111-113.pdf | 697,13 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
