Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786| Title: | Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы |
| Authors: | Воронина, Екатерина Дмитриевна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | оксид иттрия; оптические характеристики; теплозащитные покрытия; оптические волноводы; ионы плазмы; аргон; кислород |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Воронина, Е. Д. Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы / Е. Д. Воронина ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 114-116. |
| Abstract: | This study aims to identify the possibility of deposition of yttrium oxide coatings using reactive magnetron sputtering in the metallic mode. There is found that sputtering yttrium target in the metallic mode can be done using dual magnetron sputtering of yttrium and copper targets |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p114-116.pdf | 717,42 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
