Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80792| Title: | Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N |
| Authors: | Гаранин, Ю. А. Кузьминов, Е. Д. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Шугуров, Артур Рубинович |
| Keywords: | материаловедениe; фрикционные нагрузки; защитные покрытия; износостойкость; магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Гаранин, Ю. А. Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N / Ю. А. Гаранин, Е. Д. Кузьминов ; науч. рук. А. Р. Шугуров ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 132-134. |
| Abstract: | The elemental composition and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by bipolar pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited at a pulse frequency of 50 kHz and a duty cycle of 50% make it possible to obtain an optimal composition that provides the maximum hardness of coatings |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80792 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p132-134.pdf | 795,81 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
