Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/84205| Title: | Разработка составов стекла для микроэлектроники |
| Authors: | Плеханов, Т. И. Данилин, А. В. Комаров, Д. В. Дитц, Александр Андреевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Дитц, Александр Андреевич |
| Keywords: | стекло; микроэлектроника; поверхностно-активные добавки |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Разработка составов стекла для микроэлектроники / Т. И. Плеханов, А. В. Данилин, Д. В. Комаров, А. А. Дитц ; науч. рук. А. А. Дитц // Химия и химическая технология в XXI веке. — Томск : Изд-во ТПУ, 2024. — Т. 2. — С. 216-218. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/84205 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| conference_tpu-2024-C27_V2_p216-218.pdf | 303,15 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
