Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/9635
Название: Вакуумная установка для напыления тонких пленок
Авторы: Херуменко, А. А.
Дата публикации: 1968
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Херуменко А. А. Вакуумная установка для напыления тонких пленок / А. А. Херуменко // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1968. — Т. 159 : Сборник научных трудов электро-энергетического факультета. — [С. 42-44].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/9635
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-1967-v159-09_bw.pdfBlack-and-white version of the preview174,21 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
bulletin_tpu-1967-v159-09_full.pdfColor version4,81 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.