Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438| Title: | Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения |
| Other Titles: | Investigation of microstructure, phase state and properties of Al-Si-N system coatings obtained by magnetron sputtering |
| Authors: | Калиева, Р. А. Рыбалко, Е. В. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Божко, Ирина Александровна |
| Keywords: | транспортные средства; оптика; покрытия; магнетронное осаждение; физико-механические свойства |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Изд-во ТПУ |
| Citation: | Калиева Р. А. Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения / Р. А. Калиева, Е. В. Рыбалко ; науч. рук. И. А. Божко // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — Т. 1 : Физика. — [С. 156-158]. |
| Abstract: | We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C21_V1_p156-158.pdf | 193,72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.