Особенности эрозии поверхности материалов при взаимодействии с ионами газоразрядной плазмы

Abstract

Рассмотрены экспериментальные физические процессы, вызываемые ионной бомбардировкой поверхности электропроводящих материалов. Проведено сравнение параметров технологических режимов при формировании микрорельефа на поверхности образцов с помощью двух типов генераторов ионных потоков. Описаны конструкции элементов ионных источников. Изложена методика проведения экспериментов по формированию микрорельефа на различных типах материалов. Разработаны практические рекомендации подготовки образцов материалов при бомбардировке химически нейтральными газовыми ионами для исследования особенностей их микроструктуры. В частности, рассмотрены примеры результатов травления стальных, алюминиевых карбидовольфрамовых сплавов.

Experimental physical processes caused by ion bombardment of the surface of electrically conductive materials are considered. A comparison of the parameters of technological regimes in the formation of a microrelief on the surface of samples using two types of ion flow generators is made. The structures of the elements of ion sources are described. The technique of conducting experiments on the formation of microrelief on various types of materials is described. Practical recommendations for preparing samples of materials during bombardment with chemically neutral gas ions have been developed to study the features of their microstructure. In particular, examples of etching results of steel, aluminum carbide tungsten alloys are considered.