Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131| Название: | Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук |
| Авторы: | Худайбергенов, Гамзат Жапарович |
| Научный руководитель: | Струнин, Владимир Иванович |
| Ключевые слова: | физика; аморфный кремний; гидрогенизированный кремний; тонкие пленки; осаждение; газовые разряды; аргон-силановая плазма; электроны; распределение; ВЧЕ разряд; химический состав; моделирование; авторефераты диссертаций |
| Дата публикации: | 2003 |
| Библиографическое описание: | Худайбергенов Г. Ж. Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч.рук.: В. И. Струнин. — Омск, 2003. — 24 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2003-92.pdf | 501,79 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.