Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183| Title: | Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями |
| Authors: | Блейхер, Галина Алексеевна Кривобоков, Валерий Павлович Сиделёв, Дмитрий Владимирович Грудинин, Владислав Алексеевич Попов, Р. В. |
| Keywords: | самораспыление; магнетронные распылительные системы; металлические мишени; покрытия; осаждение |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, Д. В. Сиделёв [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г. — Томск : Ветер, 2020. — [С. 22]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C49_V1_p21-22.pdf | 569,5 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
