Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820| Title: | Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием |
| Authors: | Осипова, Е. С. Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | микротвёрдость; термостойкость; защитные покрытия; скорость осаждения; реактивные газы; магнетронное распыление; аргон; азот; плазменный генератор |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Осипова, Е. С. Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием / Е. С. Осипова, Д. В. Сиделёв ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 291-293. |
| Abstract: | The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p291-293.pdf | 894,83 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
