Просмотр коллекции по группе - По тематике magnetron sputtering system
Отображение результатов 1 до 10 из 10
| Дата публикации | Название | Авторы |
| 2022 | Влияние технологических параметров на термостабильность поверхностного сопротивления плёнок ITO, осаждённых магнетронным распылением | Рахимов, Кирилл Александрович |
| 2016 | Высокоскоростное осаждение плёнок хрома с помощью магнетронной распылительной системой с горячей мишенью | Койшыбаева, Жанымгул Койшыбайкызы |
| 2016 | Исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью | Кушебина, Айгерим Казбековна |
| 2016 | Медная металлизация подложек для микроэлектроники с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью | Кузнецов, Алексей Валерьевич |
| 2017 | Осаждение барьерных (антидиффузионных) слоёв для термоэлектрических модулей на основе алмазоподобных углеродных плёнок | Елгин, Юрий Игоревич |
| 2017 | Осаждение диэлектрических плёнок Si3N4 с помощью плазмы магнетронного разряда | Петраков, Юрий Вячеславович |
| 2017 | Осаждение медных покрытий большой толщины с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью | Рогожников, Дмитрий Сергеевич |
| 2017 | Осаждение фотокаталитических плёнок оксида титана с помощью плазмы магнетронного разряда | Андреева, Марина Андреевна |
| 2019 | Осаждение фотокаталитических плёнок оксида титана с помощью плазмы магнетронного разряда | Андреева, Марина Андреевна |
| 2018 | Структура пленок, напыляемых в магнитном поле с помощью плазмы магнетронного разряда | Загузин, Илья Юрьевич |
