Browsing by Author Петраков, Ю. В.
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2017 | Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния | Петраков, Ю. В.; Киселева, Д. В. |
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2017 | Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния | Петраков, Ю. В.; Киселева, Д. В. |