1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorГрудинин, Владислав Алексеевичru
dc.contributor.authorФишер, М. Э.ru
dc.contributor.authorГрудинин, Владислав Алексеевичru
dc.date.accessioned2025-10-29T04:38:50Z-
dc.date.available2025-10-29T04:38:50Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifier.citationФишер, М. Э. Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней / М. Э. Фишер, В. А. Грудинин ; науч. рук. В. А. Грудинин // Перспективы развития фундаментальных наук. — Томск : Изд-во ТПУ, 2025. — Т. 1 : Физика. — С. 263-265.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865-
dc.description.abstractIn this work the influence of the target type on the peculiarities of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide is considered. The plasma composition was determined by optical emission spectroscopy. It is revealed that at magnetron sputtering of hot target the intensity of plasma components increasesen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук. . Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectsilicon carbideen
dc.subjectmagnetron sputteringen
dc.subjectOES-analysisen
dc.titleСравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишенейru
dc.title.alternativeComparative analysis of features of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide using cooled and hot targetsen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage263-
local.description.lastpage265-
local.filepathconference_tpu-2025-C21_V1_p263-265.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)682463-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2025-C21_V1_p263-265.pdf942,4 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons