1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Периодические и продолжающиеся издания
  4. Векторы благополучия: экономика и социум
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБалан, Никита Николаевичru
dc.contributor.authorИвашов, Евгений Николаевичru
dc.contributor.authorЛучников, Петр Александровичru
dc.contributor.authorНевский, Александр Борисовичru
dc.date.accessioned2016-03-24T04:02:03Z-
dc.date.available2016-03-24T04:02:03Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationОстрийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления / Н. Н. Балан [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 89-98].ru
dc.identifier.issn2226-0064-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063-
dc.description.abstractРассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofВестник науки Сибири. 2012. № 3 (4)ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.sourceВестник науки Сибириru
dc.subjectэлектроникаru
dc.subjectмикроэлектроникаru
dc.subjectмикроэлектронные приборыru
dc.subjectострийные эмиттерыru
dc.subjectэлектронная эмиссияru
dc.subjectкатодные узлыru
dc.subjectтуннельные преобразователиru
dc.subjectсилицидыru
dc.subjectплатинаru
dc.subjectтермический отжигru
dc.subjectтуннельный токru
dc.titleОстрийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовленияru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage89-
local.description.lastpage98-
local.filepathhttp://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/360/320-
local.identifier.bibrecRU\TPU\prd\147516-
local.issue3-
local.localtypeСтатьяru
Располагается в коллекциях:Векторы благополучия: экономика и социум

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
320.pdf968,47 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.