Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063| Название: | Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления |
| Авторы: | Балан, Никита Николаевич Ивашов, Евгений Николаевич Лучников, Петр Александрович Невский, Александр Борисович |
| Ключевые слова: | электроника; микроэлектроника; микроэлектронные приборы; острийные эмиттеры; электронная эмиссия; катодные узлы; туннельные преобразователи; силициды; платина; термический отжиг; туннельный ток |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления / Н. Н. Балан [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 89-98]. |
| Аннотация: | Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063 |
| ISSN: | 2226-0064 |
| Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 320.pdf | 968,47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.