Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063
Название: Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления
Авторы: Балан, Никита Николаевич
Ивашов, Евгений Николаевич
Лучников, Петр Александрович
Невский, Александр Борисович
Ключевые слова: электроника; микроэлектроника; микроэлектронные приборы; острийные эмиттеры; электронная эмиссия; катодные узлы; туннельные преобразователи; силициды; платина; термический отжиг; туннельный ток
Дата публикации: 2012
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления / Н. Н. Балан [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 89-98].
Аннотация: Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063
ISSN: 2226-0064
Располагается в коллекциях:Вестник науки Сибири

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
320.pdf968,47 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.