Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Клименов, Василий Александрович | ru |
dc.contributor.author | Мамонтов, Аркадий Павлович | ru |
dc.date.accessioned | 2016-03-24T04:02:04Z | - |
dc.date.available | 2016-03-24T04:02:04Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Клименов В. А. Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия / В. А. Клименов, А. П. Мамонтов // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 125-129]. | ru |
dc.identifier.issn | 2226-0064 | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069 | - |
dc.description.abstract | Исследовано влияние характеристического рентгеновского излучения на полуизолирующий арсенид галлия, применяемый в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем с помощью ионной имплантации и эпитаксии. Установлено, что изменение сопротивления при облучении позволяет получать информацию об однородности и термической стабильности пластин полуизолирующего арсенида галлия. Обсуждаются физические процессы, происходящие при облучении полуизолирующего арсенида галлия. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
dc.relation.ispartof | Вестник науки Сибири. 2012. № 3 (4) | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.source | Вестник науки Сибири | ru |
dc.subject | неразрушающий контроль | ru |
dc.subject | радиационный контроль | ru |
dc.subject | арсенид галлия | ru |
dc.subject | рентгеновское излучение | ru |
dc.subject | подложки | ru |
dc.subject | ионная имплантация | ru |
dc.subject | полупроводники | ru |
dc.subject | эпитаксия | ru |
dc.subject | сопротивление | ru |
dc.subject | стабильность | ru |
dc.title | Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия | ru |
dc.type | Article | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 125 | - |
local.description.lastpage | 129 | - |
local.filepath | http://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/366/326 | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\prd\147591 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\27985 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\21984 | - |
local.issue | 3 | - |
local.localtype | Статья | ru |
Appears in Collections: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.