Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069
Title: | Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия |
Authors: | Клименов, Василий Александрович Мамонтов, Аркадий Павлович |
Keywords: | неразрушающий контроль; радиационный контроль; арсенид галлия; рентгеновское излучение; подложки; ионная имплантация; полупроводники; эпитаксия; сопротивление; стабильность |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | Томский политехнический университет |
Citation: | Клименов В. А. Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия / В. А. Клименов, А. П. Мамонтов // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 125-129]. |
Abstract: | Исследовано влияние характеристического рентгеновского излучения на полуизолирующий арсенид галлия, применяемый в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем с помощью ионной имплантации и эпитаксии. Установлено, что изменение сопротивления при облучении позволяет получать информацию об однородности и термической стабильности пластин полуизолирующего арсенида галлия. Обсуждаются физические процессы, происходящие при облучении полуизолирующего арсенида галлия. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069 |
ISSN: | 2226-0064 |
Appears in Collections: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.