Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069
Название: Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия
Авторы: Клименов, Василий Александрович
Мамонтов, Аркадий Павлович
Ключевые слова: неразрушающий контроль; радиационный контроль; арсенид галлия; рентгеновское излучение; подложки; ионная имплантация; полупроводники; эпитаксия; сопротивление; стабильность
Дата публикации: 2012
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Клименов В. А. Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия / В. А. Клименов, А. П. Мамонтов // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 125-129].
Аннотация: Исследовано влияние характеристического рентгеновского излучения на полуизолирующий арсенид галлия, применяемый в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем с помощью ионной имплантации и эпитаксии. Установлено, что изменение сопротивления при облучении позволяет получать информацию об однородности и термической стабильности пластин полуизолирующего арсенида галлия. Обсуждаются физические процессы, происходящие при облучении полуизолирующего арсенида галлия.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069
ISSN: 2226-0064
Располагается в коллекциях:Вестник науки Сибири

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
326.pdf163,78 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.