Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17435| Название: | Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing |
| Авторы: | Ryabchikov, Aleksandr Ilyich Sivin, Denis Olegovich Bumagina, Anna Ivanovna Andriyashin, D. A. |
| Ключевые слова: | макрочастицы; плазма; вакуумные дуги; подложки |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing / A. I. Ryabchikov [et al.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 207]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17435 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C49-175.pdf | 604,81 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.