Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19128Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Юрьев, Юрий Николаевич | ru |
| dc.contributor.author | Киселева, Д. В. | ru |
| dc.contributor.author | Михневич, К. С. | ru |
| dc.contributor.author | Юрьев, Юрий Николаевич | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-04-08T11:17:45Z | - |
| dc.date.available | 2016-04-08T11:17:45Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Киселева Д. В. Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС / Д. В. Киселева, К. С. Михневич, Ю. Н. Юрьев ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 125-127]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19128 | - |
| dc.description.abstract | The titanium nitride (TiN) thin films of polycrystalline structure (110), (200) and (220) with elasticmodulus 153.2…395.7 GPa were obtained by means of magnetron sputtering of titanium cathode in argon andnitrogen. The electrical resistance of the samples is in the range of 0.15 ... 1.24 m[omega]·cm. The effects of phasecomposition, microstructure, morphology and physical-mechanical properties of TiN on d[s-t] and N[2] flow rate arepresented. | ru |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск, 2015. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | осаждение | ru |
| dc.subject | барьерные слои | ru |
| dc.subject | нитрид титана | ru |
| dc.subject | магнетронные системы | ru |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru |
| dc.subject | пленки | ru |
| dc.title | Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС | ru |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра технической физики (№ 23) (ТФ)::Лаборатория № 16 | ru |
| local.description.firstpage | 125 | - |
| local.description.lastpage | 127 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/032.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\11070 | - |
| local.identifier.colkey | RU\TPU\col\19671 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\30543 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
| local.conference.date | 2015 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C21-032.pdf | 201,21 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.