Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170| Название: | Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения |
| Авторы: | Чжан Ле Кашкаров, Егор Борисович |
| Научный руководитель: | Кашкаров, Егор Борисович |
| Ключевые слова: | покрытия; нитрид титана; вакуумно-дуговое осаждение; смещения |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Чжан Ле. Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения / Чжан Ле, Е. Б. Кашкаров ; науч. рук. Е. Б. Кашкаров // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 302-304]. |
| Аннотация: | This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -100 to -300 V, Ti/N ratio and the quantity and size of microparticles decreased. Meanwhile, the uniform distribution of elements in TiN coatings was observed. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C21-090.pdf | 234,57 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.