???jsp.display-item.identifier??? http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472
???metadata.dc.title???: Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N
???metadata.dc.contributor.author???: Пузанова, К. С.
Божко, Ирина Александровна
Калашников, Марк Петрович
???metadata.dc.contributor.advisor???: Сергеев, Виктор Петрович
???metadata.dc.subject???: структурно-фазовые состояния; керамические покрытия; нанокомпозитные покрытия; нитрид кремния; алюминий; магнетронные напыления
???metadata.dc.date.issued???: 2014
???metadata.dc.identifier.citation???: Пузанова К. С. Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N / К. С. Пузанова, И. А. Божко, М. П. Калашников ; науч. рук. В. П. Сергеев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 977-979].
???metadata.dc.description.abstract???: Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride ?-Si3N4 in their compound.
???metadata.dc.identifier.uri???: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472
???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.appears???Материалы конференций

???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.files???
???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.file??? ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.description??? ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.filesize??????org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.fileformat??? 
conference_tpu-2014-C21-330.pdf160,62 kBAdobe PDF???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.view???


???jsp.display-item.copyright???