Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20473
Title: | Механические свойства прозрачных покрытий на основе Si-Al-N на кварцевых стеклах |
Authors: | Рыбалко, Е. В. Калашников, Марк Петрович Воронов, А. В. |
metadata.dc.contributor.advisor: | Сергеев, Виктор Петрович |
Keywords: | механические свойства; прозрачные покрытия; кварцевые стекла; оксиды кремния; алюминий |
Issue Date: | 2014 |
Citation: | Рыбалко Е. В. Механические свойства прозрачных покрытий на основе Si-Al-N на кварцевых стеклах / Е. В. Рыбалко, М. П. Калашников, А. В. Воронов ; науч. рук. В. П. Сергеев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 980-982]. |
Abstract: | The transparent coatings on the basis of Si-Al-N were prepared by reactive magnetron sputtering method. Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al-N was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. Nanohardness was measured by nanoindentation method, also we measured the shock durability of samples with and without coating. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20473 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2014-C21-331.pdf | 145,53 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.