Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20473
Title: Механические свойства прозрачных покрытий на основе Si-Al-N на кварцевых стеклах
Authors: Рыбалко, Е. В.
Калашников, Марк Петрович
Воронов, А. В.
metadata.dc.contributor.advisor: Сергеев, Виктор Петрович
Keywords: механические свойства; прозрачные покрытия; кварцевые стекла; оксиды кремния; алюминий
Issue Date: 2014
Citation: Рыбалко Е. В. Механические свойства прозрачных покрытий на основе Si-Al-N на кварцевых стеклах / Е. В. Рыбалко, М. П. Калашников, А. В. Воронов ; науч. рук. В. П. Сергеев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 980-982].
Abstract: The transparent coatings on the basis of Si-Al-N were prepared by reactive magnetron sputtering method. Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al-N was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. Nanohardness was measured by nanoindentation method, also we measured the shock durability of samples with and without coating.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20473
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2014-C21-331.pdf145,53 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.