Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20530| Title: | Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана |
| Authors: | Сунь Чжилэй Конищев, Максим Евгеньевич Пустовалова, Алла Александровна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Keywords: | парциальное давление; спектральный состав; распыление; магнетронный разряд; плазма; мишени; титан |
| Issue Date: | 2014 |
| Citation: | Сунь Чжилэй. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 262-264]. |
| Abstract: | This paper presents the study of the spectral composition of the plasma reactive magnetron discharge and the effect of the concentration of the working gas on the sputtering process. Control of the thin film synthesis was carried out using plasma emission spectrometer AvaSpec 3648. Line identification of optical spectra was realized using NIST database. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20530 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C21-083.pdf | 140,86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.