Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Юрьев, Юрий Николаевич | ru |
dc.contributor.author | Михневич, К. С. | ru |
dc.date.accessioned | 2016-05-18T13:25:06Z | - |
dc.date.available | 2016-05-18T13:25:06Z | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier.citation | Михневич К. С. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана / К. С. Михневич ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 121]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.relation.ispartof | Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск, 2015. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | магнетронное осаждение | ru |
dc.subject | барьерные слои | ru |
dc.subject | нитрид титана | ru |
dc.subject | металлизация | ru |
dc.title | Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана | ru |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) | ru |
local.description.firstpage | 121 | - |
local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\12664 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\15902 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.conference.name | Функциональные материалы: разработка, исследование, применение | - |
local.conference.date | 2015 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2015-C96-119.pdf | 225,6 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.