Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorЮрьев, Юрий Николаевичru
dc.contributor.authorМихневич, К. С.ru
dc.date.accessioned2016-05-18T13:25:06Z-
dc.date.available2016-05-18T13:25:06Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationМихневич К. С. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана / К. С. Михневич ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 121].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofФункциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск, 2015.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectмагнетронное осаждениеru
dc.subjectбарьерные слоиru
dc.subjectнитрид титанаru
dc.subjectметаллизацияru
dc.titleМагнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титанаru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)ru
local.description.firstpage121-
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\12664-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\15902-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameФункциональные материалы: разработка, исследование, применение-
local.conference.date2015-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C96-119.pdf225,6 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.