Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981| Title: | Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана |
| Authors: | Михневич, К. С. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Keywords: | магнетронное осаждение; барьерные слои; нитрид титана; металлизация |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | Михневич К. С. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана / К. С. Михневич ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 121]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C96-119.pdf | 225,6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.