Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981| Название: | Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана |
| Авторы: | Михневич, К. С. |
| Научный руководитель: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Ключевые слова: | магнетронное осаждение; барьерные слои; нитрид титана; металлизация |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Михневич К. С. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана / К. С. Михневич ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 121]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C96-119.pdf | 225,6 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.