Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981
Название: Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана
Авторы: Михневич, К. С.
Научный руководитель: Юрьев, Юрий Николаевич
Ключевые слова: магнетронное осаждение; барьерные слои; нитрид титана; металлизация
Дата публикации: 2015
Библиографическое описание: Михневич К. С. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана / К. С. Михневич ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 121].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C96-119.pdf225,6 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.