Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26019
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Линник, Степан Андреевич | ru |
dc.contributor.author | Охотников, Виталий Владимирович | ru |
dc.contributor.author | Линник, Степан Андреевич | ru |
dc.contributor.author | Гайдайчук, Александр Валерьевич | ru |
dc.date.accessioned | 2016-06-22T16:30:54Z | - |
dc.date.available | 2016-06-22T16:30:54Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Охотников В. В. Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий / В. В. Охотников, С. А. Линник, А. В. Гайдайчук ; науч. рук. С. А. Линник // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 205-207]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26019 | - |
dc.description.abstract | The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching ina glow discharge plasma on the surface of the diamond films deposited by CVD method was investigated. Basedon the results of the research, changes in the surface morphology of the coatings and phase composition was analyzed, the processes occurring in the processing was researched. | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Изд-во ТПУ | ru |
dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. . Т. 1 : Физика. — Томск, 2016. | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | алмазные покрытия | ru |
dc.subject | полупроводниковая электроника | ru |
dc.subject | теплопроводность | ru |
dc.subject | оптические элементы | ru |
dc.subject | плазмохимическое травление | ru |
dc.title | Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий | ru |
dc.title.alternative | The research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on a diamond coatings surface morphology | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Лаборатория № 1 | ru |
local.description.firstpage | 205 | - |
local.description.lastpage | 207 | - |
local.filepath | conference_tpu-2016-C21_V1_p205-207.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\16501 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\19035 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\36430 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\28210 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\28207 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.volume | 1 | - |
local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
local.conference.date | 2016 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2016-C21_V1_p205-207.pdf | 478,71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.