Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorБожко, Ирина Александровнаru
dc.contributor.authorПершукова, А. Г.ru
dc.contributor.authorРыбалко, Е. В.ru
dc.date.accessioned2016-06-22T16:30:54Z-
dc.date.available2016-06-22T16:30:54Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationПершукова А. Г. Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления / А. Г. Першукова, Е. В. Рыбалко ; науч. рук. И. А. Божко // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 211-213].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020-
dc.description.abstractThe results of the investigation of structural-phase state and optical properties of the coatings on thebasis of Si-Al-N, deposited on quartz glass by pulsed magnetron sputtering were presented. The transmissionspectra of formed coating in the range of 190-1100 nm were produced. Refractive index and the thickness of the Si-Al-N coating using transmission spectra and also the refractive index dispersion were determined.en
dc.language.isoruen
dc.publisherИзд-во ТПУru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. . Т. 1 : Физика. — Томск, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectсверхтвердые покрытияru
dc.subjectмагнетронные напыленияru
dc.subjectкварцевые стеклаru
dc.subjectмагнетронные напыленияru
dc.subjectбиполярные источникиru
dc.titleИсследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыленияru
dc.title.alternativeStudy of optical properties of si-al-n coatings obtained by magnetron sputteringen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Кафедра наноматериалов и нанотехнологий (НМНТ)ru
local.description.firstpage211-
local.description.lastpage213-
local.filepathconference_tpu-2016-C21_V1_p211-213.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\16502-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18685-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C21_V1_p211-213.pdf385,9 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.