Индукционный плазменный источник для генерации мощных пучков ионов различных газов

Abstract

Ускоритель мощных ионных пучков предназначен для исследовательских работ в области модификации материалов и, в частности, освоения и использования метода короткоимпульсной высокодозной имплантации ионов в сопровождении энергетических воздействий, приводящих к активации поверхностного слоя и формирования наноразмерных структур за счет высоких скоростей охлаждения. Метод уникальный и его развитие тесно связано с решением проблемы генерации пучков ионов заданного сорта.

Accelerator power ion beams for research in the field of modification of materials and, in particular, the development and utilization of high short-pulse method of ion implantation energy, accompanied by effects that lead to activation and formation of the surface layer of nanoscale structures due to the high cooling rates. Unique method and its development is closely linked with the problem of generating beams of a given kind of ions.