Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorЮрьев, Юрий Николаевичru
dc.date.accessioned2016-10-05T03:08:22Z-
dc.date.available2016-10-05T03:08:22Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationЮрьев Ю. Н. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2016.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectМеталлопокрытия химическиеru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.subjectсвойстваru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectоксид титанаru
dc.subjectаморфный углеродru
dc.subjectмагнетронные системыru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectмодифицирующие покрытияru
dc.subjectфункциональные покрытияru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectтонкопленочные покрытияru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectмагнетронные разрядыru
dc.subjectтлеющие разрядыru
dc.subjectэлектрические поляru
dc.subjectмагнитные поляru
dc.titleСвойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesis-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearches-
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2016/16.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\344156-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30543-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2016-16.pdf878,92 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.