Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560| Title: | Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Authors: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Keywords: | Металлопокрытия химические; авторефераты диссертаций; свойства; тонкие пленки; оксид титана; аморфный углерод; магнетронные системы; магнетронные распылительные системы; модифицирующие покрытия; функциональные покрытия; осаждение; тонкопленочные покрытия; плазма; магнетронные разряды; тлеющие разряды; электрические поля; магнитные поля |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Юрьев Ю. Н. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2016. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2016-16.pdf | 878,92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.