Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560
Название: Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Авторы: Юрьев, Юрий Николаевич
Научный руководитель: Кривобоков, Валерий Павлович
Ключевые слова: Металлопокрытия химические; авторефераты диссертаций; свойства; тонкие пленки; оксид титана; аморфный углерод; магнетронные системы; магнетронные распылительные системы; модифицирующие покрытия; функциональные покрытия; осаждение; тонкопленочные покрытия; плазма; магнетронные разряды; тлеющие разряды; электрические поля; магнитные поля
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Юрьев Ю. Н. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2016.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
thesis_tpu-2016-16.pdf878,92 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.