1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorMikolaychuk, Mikhailen
dc.contributor.authorKnyazeva, Anna Georgievnaen
dc.date.accessioned2016-12-28T16:37:49Z-
dc.date.available2016-12-28T16:37:49Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationMikolaychuk M. Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation / M. Mikolaychuk, A. G. Knyazeva // AIP Conference Proceedings. — 2014. — Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014 : [proceedings]. — [P. 419-422].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730-
dc.description.abstractThe paper discusses the problem of microcrystalline structure formation during magnetron sputtering. The authors suggest the model based on cellular automata approach combined with chemical kinetics considerations, briefly discuss a practical way for kinetic constants evaluation and derive their accurate values. The work numerically solves a particular problem of coating formation by magnetron sputter deposition in multicomponent chemically active plasma.en
dc.language.isoenen
dc.publisherAIP Publishingru
dc.relation.ispartofAIP Conference Proceedings. Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014. — New York, 2014.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectклеточные автоматыru
dc.subjectмикрокристаллические структурыru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectмагнетронное напылениеru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectхимическая кинетикаru
dc.titleCellular automata modeling of microcrystalline structure formationen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)ru
local.description.firstpage419-
local.description.lastpage422-
local.filepathhttp://dx.doi.org/10.1063/1.4898971-
local.identifier.bibrecRU\TPU\network\6791-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18687-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\32712-
local.localtypeДокладru
local.volume16232014-
local.conference.nameInternational Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems-
local.conference.date2014-
dc.identifier.doi10.1063/1.4898971-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
dx.doi.org-10.1063-1.4898971.pdf732,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.