Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730
Название: | Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation |
Авторы: | Mikolaychuk, Mikhail Knyazeva, Anna Georgievna |
Ключевые слова: | клеточные автоматы; микрокристаллические структуры; магнетронное распыление; покрытия; магнетронное напыление; плазма; химическая кинетика |
Дата публикации: | 2014 |
Издатель: | AIP Publishing |
Библиографическое описание: | Mikolaychuk M. Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation / M. Mikolaychuk, A. G. Knyazeva // AIP Conference Proceedings. — 2014. — Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014 : [proceedings]. — [P. 419-422]. |
Аннотация: | The paper discusses the problem of microcrystalline structure formation during magnetron sputtering. The authors suggest the model based on cellular automata approach combined with chemical kinetics considerations, briefly discuss a practical way for kinetic constants evaluation and derive their accurate values. The work numerically solves a particular problem of coating formation by magnetron sputter deposition in multicomponent chemically active plasma. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
dx.doi.org-10.1063-1.4898971.pdf | 732,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.