Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831| Название: | The influence of plasma parameters on the electron temperature and density |
| Авторы: | Tsapkov, Alexander Mukhametkaliev, Timur Mukhamedrashidovich Evdokimov, Kirill Evgenievich Surmeneva (Ryabtseva), Maria Alexandrovna Surmenev, Roman Anatolievich |
| Ключевые слова: | плазма; электронная температура; плотность; плазменная обработка; оптическая спектроскопия; эмиссионная спектроскопия; plasma treatment; RF-magnetron plasma; optical emission spectroscopy |
| Дата публикации: | 2016 |
| Библиографическое описание: | The influence of plasma parameters on the electron temperature and density / A. Tsapkov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 225]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C117_p226.pdf | 226,79 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.