Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831
Название: The influence of plasma parameters on the electron temperature and density
Авторы: Tsapkov, Alexander
Mukhametkaliev, Timur Mukhamedrashidovich
Evdokimov, Kirill Evgenievich
Surmeneva (Ryabtseva), Maria Alexandrovna
Surmenev, Roman Anatolievich
Ключевые слова: плазма; электронная температура; плотность; плазменная обработка; оптическая спектроскопия; эмиссионная спектроскопия; plasma treatment; RF-magnetron plasma; optical emission spectroscopy
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: The influence of plasma parameters on the electron temperature and density / A. Tsapkov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 225].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p226.pdf226,79 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.