1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35854
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorSivin, Denis Olegovichen
dc.contributor.authorAnanjin, Petr Semenovichen
dc.contributor.authorDektyarev, Sergey Valentinovichen
dc.contributor.authorRyabchikov, Aleksandr Ilyichen
dc.contributor.authorShevelev, Aleksey Eduardovichen
dc.contributor.authorKorneva, Olga Sergeevnaen
dc.date.accessioned2016-12-30T02:54:21Z-
dc.date.available2016-12-30T02:54:21Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationInfluence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation / D. O. Sivin [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 314].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35854-
dc.language.isoenen
dc.relation.ispartofEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectэнергияru
dc.subjectимплантацияru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectоловоru
dc.subjectнитрид титанаru
dc.subjectвакуумные дугиru
dc.subjectсмещенияru
dc.subjecttitanium nitride coatingru
dc.subjectvacuum arcru
dc.subjectnegative high-frequency short-pulsed biasru
dc.titleInfluence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formationen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Лаборатория № 22ru
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)ru
local.description.firstpage314-
local.filepathconference_tpu-2016-C117_p315.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\19978-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\19225-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\19361-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34240-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\35673-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\35672-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30912-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\36832-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\37178-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p315.pdf218,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.