Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39496
Название: | The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode |
Авторы: | Linnik, Stepan Andreevich Gaydaychuk, Alexander Valerievich Okhotnikov, Vitaly Vladimirovich |
Ключевые слова: | алмазные покрытия; плазма; тлеющие разряды; импульсно-периодический режим; алмазные пленки; фазовый состав; микроструктуры |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | IOP Publishing |
Библиографическое описание: | Linnik S. A. The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode / S. A. Linnik, A. V. Gaydaychuk, V. V. Okhotnikov // Journal of Physics: Conference Series. — 2017. — Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016 : 5th International Congress, 2–7 October 2016, Tomsk, Russian Federation : [materials]. — [012118, 5 p.]. |
Аннотация: | We report about the features of polycrystalline diamond coatings CVD synthesis in repetitively-pulsed plasma of abnormal glow discharge. The discharge burning time was varied from 0.5 to 10 ms with proportional pauses. The dependences of deposited diamond films growth rate on the durations of the discharge burning and pauses are presented. The mutual influence of two plasma filaments on each other and onto the substrate has unequivocally established. Raman spectroscopy, X-ray diffractometry and SEM were used for identification of phase composition and microstructure of deposited films. Implementation simplicity and reliability of the proposed discharge system may find application in diamond film deposition industries. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39496 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
dx.doi.org-10.1088-1742-6596-830-1-012118.pdf | 728,32 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.