Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43732
Title: Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов
Authors: Жиленков, А. А.
Keywords: экспериментальные исследования; оптимизация; наноструктуры; газофазная эпитаксия; неоднородности; выращивание; структуры; реакторы; индукционный нагрев; газы; индукторы; оптические свойства
Issue Date: 2017
Citation: Жиленков А. А. Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов / А. А. Жиленков // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 289-290].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43732
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2017-C39_p289-290.pdf185,19 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.