Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий

Ананьин, П. С.; Асаинов, Олег Хайдарович; Блейхер, Галина Алексеевна; Баинов, Даши Дамбаевич; Жуков, В. В.; Зоркальцев, А. А.; Косицын, Л. Г.; Кривобоков, Валерий Павлович; Лебедев, Е. В.; Легостаев, Виктор Никифорович; Меркулов, Степан Вадимович; Михайлов, М. Н.; Нечаев, М. А.; Носкова, Т. Г.; Пащенко, Олег Валентинович; Пузыревич, А. Г.; Умнов, Сергей Павлович; Юдаков, Сергей Владимирович; Янин, Сергей Николаевич

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/450

Title:	Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий
Authors:	Ананьин, П. С. Асаинов, Олег Хайдарович Блейхер, Галина Алексеевна Баинов, Даши Дамбаевич Жуков, В. В. Зоркальцев, А. А. Косицын, Л. Г. Кривобоков, Валерий Павлович Лебедев, Е. В. Легостаев, Виктор Никифорович Меркулов, Степан Вадимович Михайлов, М. Н. Нечаев, М. А. Носкова, Т. Г. Пащенко, Олег Валентинович Пузыревич, А. Г. Умнов, Сергей Павлович Юдаков, Сергей Владимирович Янин, Сергей Николаевич
Keywords:	плазменная установка; теплосберегающие покрытия; поверхность; листовые стекла; вакуумные камеры; источники; плазма; магнетронный тип; ионные пучки; очистка; обрабатываемые изделия; устройства; оптический контроль; системы; сканирование; потоки; шлюзовая камера; структуры; характеристики; элементы; технические параметры; эксплуатация; теплоотражающие покрытия
Issue Date:	2004
Publisher:	Томский политехнический университет
Citation:	Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий / П. С. Ананьин [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2004. — Т. 307, № 6. — [С. 53-59].
Abstract:	Описана плазменная установка для нанесения теплоотражающих (низкоэмиссионных) покрытий на поверхность листового стекла. Она имеет вакуумные камеры, в которых размещены источники плазмы магнетронного типа и ионных пучков для очистки обрабатываемых изделий. Содержит устройство оптического контроля толщины покрытий, систему сканирования обрабатываемых изделий относительно пучков ионов и потоков плазмы, шлюзовую камеру для их загрузки и другие устройства, обеспечивающие высокое качество покрытий. Описаны её структура, характеристики основных элементов, технические параметры, некоторые особенности эксплуатации.
URI:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/450
Appears in Collections:	Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
bulletin_tpu-2004-307-6-11.pdf		1,5 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar