1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСоловьёв, Андрей Александровичru
dc.contributor.authorГренадёров, А. С.ru
dc.contributor.authorОскомов, К. В.ru
dc.contributor.authorРаботкин, С. В.ru
dc.contributor.authorСоловьёв, Андрей Александровичru
dc.contributor.authorСыпченко, Владимир Сергеевичru
dc.date.accessioned2017-12-20T04:09:49Z-
dc.date.available2017-12-20T04:09:49Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationВлияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок / А. С. Гренадёров [и др.] ; науч. рук. А. А. Соловьёв // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 45-46].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofВысокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск, 2017.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectэлектронные ресурсыru
dc.subjectоптические элементыru
dc.subjectИК-системыru
dc.subjectалмазоподобные покрытияru
dc.subjectкремний-углеродru
dc.subjectграфитизацияru
dc.subjectмонокристаллический кремнийru
dc.titleВлияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленокru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)ru
local.description.firstpage45-
local.description.lastpage46-
local.filepathconference_tpu-2017-C17_p44-46.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\24553-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28694-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28216-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameВысокие технологии в современной науке и технике-
local.conference.date2017-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2017-C17_p44-46.pdf596,45 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.