Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
Название: | Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок |
Авторы: | Гренадёров, А. С. Оскомов, К. В. Работкин, С. В. Соловьёв, Андрей Александрович Сыпченко, Владимир Сергеевич |
Научный руководитель: | Соловьёв, Андрей Александрович |
Ключевые слова: | электронные ресурсы; оптические элементы; ИК-системы; алмазоподобные покрытия; кремний-углерод; графитизация; монокристаллический кремний |
Дата публикации: | 2017 |
Библиографическое описание: | Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок / А. С. Гренадёров [и др.] ; науч. рук. А. А. Соловьёв // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 45-46]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2017-C17_p44-46.pdf | 596,45 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.